六甲基二硅胺烷

外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE

分 子 式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3

分 子 量 161.39

性　状 无色透明液体、无毒、略带胺味

别    名 双（三甲基硅）胺烷

密度(25℃)g/cm3：0.770—0.780 折光率()：1.408±0.002

六甲基二硅氮烷含量(%)：≥99.0 六甲基二硅氧烷含量(%)：≤0.7

三甲基硅醇含量%：≤ 0.3 闪点：27℃

沸点：126℃ 色度：≤10

用　途：特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。