四甲基氢氧化铵

　　别 名 四甲基氢氧化铵溶液 | 显影液TMAH

　　英文名 Tetramethylammonium hydroxide

　　CAS号 75-59-2

　　EINECS 200-882-9

　　分子式 C4H13NO

　　分子量 91.152

　　密 度 0.866 g/mL

　　沸 点 110 °C

　　熔 点 62-71°C

　　闪 点 80 °F

　　性 状 无色结晶

　　溶解性 溶于水和乙醇等

　　用 途

　　1.用作极谱分析试剂

　　2.用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等

　　3.在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等